Разработка микроэлектронных технологий
Структурным подразделением отдела интегральных микросхем является научно-исследовательская лаборатория перспективной элементной базы и технологических маршрутов микросхем. Специалисты лаборатории разрабатывают новые технологические процессы и маршруты, которые ложатся в основу уникальных технологий изготовления интегральных микросхем. Полученные параметры полупроводниковых структур и конструктивно-технологические ограничения используются для разработки конструкций новых серий микросхем, имеющих повышенную устойчивость к внешним воздействующим факторам, включая радиационные. На базе лаборатории развиваются следующие основные направления деятельности:
- Разработка современных полупроводниковых КМОП и БиКМОП технологических маршрутов с нормами проектирования вплоть до 28нм;
- Экстракция SPICE-параметров и разработка компактных SPICE-моделей элементов;
- Контрольно-аналитические исследования, параметрический контроль и надёжностная аттестация элементной базы микроэлектронных технологий в составе пластин;
- Сопровождение производственных партий пластин на всём протяжении технологического цикла изготовления кристаллов микросхем.
В распоряжении специалистов лаборатории в активном применении для обеспечения функций разработки, исследования, контроля и сопровождения технологий находятся:
- Системы приборно-технологического моделирования;
- Измерительные системы и полупроводниковые анализаторы (имеются в оснащении Keysight B1500A);
- Зондовые станции для пластин диаметром до 300мм с возможностью проведения исследований в диапазоне температур 25-200ºC;
- Системы схемотехнического проектирования и экстракции SPICE-параметров.
- Собственный кластер высокопроизводительного серверного оборудования, позволяющий обеспечивать расчёты масштабных инженерных проектов высокого уровня сложности
